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» 2011年03月15日 00時00分 UPDATE

速報 工場の被災状況:東北地方太平洋沖地震による国内半導体工場の被災状況

2011年3月14日、東北地方と関東地方に製造工場を展開している半導体メーカーが、工場の被災状況などを発表している。

[EDN Japan]

 2011年3月14日、東北地方と関東地方に製造工場を展開している半導体メーカーが、工場の被災状況などを発表している。

 ルネサス エレクトロニクスは、国内22カ所に展開する製造拠点のうち、東北、関東、甲信越の各地方にある7拠点で生産を停止していると発表した。

 生産を停止している拠点名は、以下のとおり。前工程は、ルネサス北日本セミコンダクタの津軽工場(青森県五所川原市)、ルネサス山形セミコンダクタの鶴岡工場(山形県鶴岡市)、ルネサス エレクトロニクスの那珂工場(茨城県ひたちなか市)、高崎工場(群馬県高崎市)、甲府工場(山梨県甲斐市)の5拠点。後工程は、ルネサスハイコンポーネンツ(青森県北津軽郡鶴田町)、ルネサス北日本セミコンダクタの米沢工場(山形県米沢市)の2拠点。これらのうち、ルネサス山形セミコンダクタの鶴岡工場では、生産再開に向けた立ち上げ作業が進められている。ほかの工場は、被害状況の確認作業などを行っているという。

 富士通は、岩手、宮崎、福島の各県に置く5カ所の半導体製造拠点で、建屋および生産設備の損傷が確認されたと発表した。

 損傷が確認された拠点名は、以下のとおり。前工程工場では、富士通セミコンダクターの岩手工場(岩手県金ヶ崎町)と会津若松工場(福島県会津若松市)。ロジック/フラッシュメモリーの前工程を担当する富士通セミコンダクターテクノロジ本社工場(福島県会津若松市)。後工程担当の子会社である富士通インテグレーテッドマイクロテクノロジの本社/会津工場(福島県会津若松市)と宮城工場(宮城県村田町)。

 東芝も、岩手県と千葉県の製造子会社2社における、建屋と生産設備の被害状況を明らかにした。

 被害があったのは、後工程担当の子会社である岩手東芝エレクトロニクス(岩手県北上市)と個別部品の製造子会社である東芝コンポーネンツ(千葉県君津市/茂原市)である。両社とも、建屋では倒壊などの大きな被害はないものの、各所に損傷が見つかっているという。

 セイコーエプソンは、半導体工場である酒田事業所(山形県酒田市)と東北エプソン(山形県酒田市)の被害状況を発表した。いずれも、建物の被害はない。現在は、設備などの被害状況を確認しており、操業再開の時期は未定である。

 米Texas Instruments社は、2011年3月14日(米国時間)に、美浦工場(茨城県美浦村)の被害状況を発表した。

 同工場は、同社半導体製品の生産量のうち約10%(金額ベース)を生産している。このうち、1/3以上がDLP(Digital Light Processing)向け製品で、残りが電源ICを含むアナログ半導体製品である。

 今回の地震により、美浦工場では、化学薬品、ガス、水、空調を供給するためのインフラシステムが破損した。これらの修理に、約3週間を要する見込みである。また、建物内に水漏れが発生したことにより、一部の製造装置が被害を受けた。このため、製造装置の再稼働時期が不透明になっている。建屋には、若干の損傷があったが、構造上の問題はないとしている。なお、処理中のウェーハが損傷を受けたものの、それらのうち約40%を顧客に引き渡すことが可能だという。

 美浦工場は、最短で2011年5月から、複数のラインにおいて段階的に生産を再開する見込みである。全面再稼働は7月中旬(製品出荷は9月)となる予定。ただし、電力供給が不安定になるなどの要因により、設備の再稼働に支障が出た場合には、この見込みが遅れることもある。

 Texas Instruments社は、美浦工場で生産している品目について、ほかの製造工場への生産の移行を進めている。現在まで、美浦工場におけるウェーハ処理量の約60%を代替しうる製造拠点を見定めている。さらに生産移行する品目を追加することで、この割合を引き上げる方針である。

 ロームは、2011年3月13日に、電力供給などの問題から、半導体製造子会社2社の操業を停止していることを発表している。

 操業を停止しているのは、モノリシックICの前工程を担当するOKIセミコンダクタ宮城(宮城県大衡村)と、SiC(シリコンカーバイド)デバイスやトランジスタ、ダイオードの前工程を担当するロームつくば(茨城県つくば市)である。

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