スマートメーター向け磁気センサー、駆動電流は平均0.3μA以下：NEC MRUS74S/MRUS74X

　NECは2012年2月、駆動電流が平均0.3μA以下と小さい磁気センサー「MRUS74S/MRUS74X」を発表した。水道やガスといった社会インフラの電子式メーター（スマートメーター）を対象にしており、メーター内の磁石の回転を検出し、データ化する役割を担う。既にサンプルの提供を開始しており、量産出荷は2012年4月に始める予定である。量産時の価格は「数10円程度」（同社）だという。将来的には、国内市場向けに年間400万個、海外市場向けに年間2000万個規模で出荷することを目標にしている。

　ここ数年、全世界でスマートグリッドやスマートシティを実現する機運が高まっていることを背景に、水道やガスといったインフラのセンサーにおいて、機械式から電子式への置き換えが進んでいる。メーター内部の磁石の回転を磁気センサーで検出してデータ化することで、検針を自動化し、メーターを統合管理できるのみならず、水漏れやガス漏れの検知が可能になる。

　発表した磁気センサーは、磁気抵抗素子（MR）素子と半導体回路を積層して一体化した構成を採る。今回、MR素子の成膜工程を改善することで、検出感度を向上させた。具体的には、MRUS74Sの検出感度は1.0〜2.5mT（テスラ）、MRUS74Xの検出感度は1.0mT以下である。出力電圧範囲は0.6〜2.7V、動作温度範囲は−40〜105℃、外形寸法は1.5×1.8×0.8mmである。