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» 2015年11月09日 11時30分 UPDATE

Wired, Weird:シーケンサの修理(1)4級アンモニウム塩との闘い (1/3)

シーケンサの修理依頼があった。例のごとく、電源が壊れているようで、修理を進めていくと、コンデンサの液漏れが確認された。洗浄し、部品を取り換え、修理完了と思いきや……。今回から数回にわたり、このシーケンサ修理の様子を紹介する。

[山平豊(ケイティーエス),EDN Japan]

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ローカルとリモートの切り替えができない

 半導体製造装置に内蔵されているコントローラーユニットの修理依頼があった。不具合内容は「機器の操作でローカルとリモートの切り替えができない」という内容だった。ユニットのカバーを開けてみると、電磁接触子やトランス、リレー、シーケンサが見えた。試しにシーケンサ単体にAC100Vを直接に通電したら、電源表示が点灯しなかった。シーケンサ本体が故障しているようだ。今回は汎用のシーケンサの修理を報告する。

 修理依頼があったコントローラーユニットの写真を図1に示す。

図1 図1 修理依頼があったコントローラーユニットの写真

電源内蔵シーケンサ

 図1には、一番故障しやすいDC電源が見えない。DC電源はシーケンサに内蔵されていた。機器の構成を詳細に確認したらブレーカー、トランス、電磁開閉器、反相リレー、リレー、温度センサーが内蔵されていた。シーケンサにはFX1-32MR(三菱電機製)が使用されていた。シーケンサのFX1-32MRは18年前に販売されたものとみられ、かなり長寿命なシーケンサだ。

 不具合内容からシーケンサ単体の故障が考えられた。シーケンサに直接AC100Vを接続したが、やはり電源表示は点灯しなかった。シーケンサの端子台にDC24Vの表示があったのでマルチメータで電圧を測定したらDC11.2Vが表示された。やはりシーケンサの電源部の故障だろう。測定した写真を図2に示す。

図2 図2 電源部を測定したところ
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