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» 2016年08月16日 09時00分 UPDATE

キーサイト A-LFNA:ノイズ測定を統合した1/fノイズ・RTN測定システム

キーサイト・テクノロジーは、ウエハー上のデバイスノイズを測定、モデリングできる、1/fノイズ・RTN測定システム「Advanced Low-Frequency Noise Analyzer」を発表した。

[EDN Japan]

ノイズ感度−183dBV2/Hz

 キーサイト・テクノロジーは2016年8月、ウエハー上のデバイスノイズを測定、モデリングできる機能を備えた、1/fノイズ・RTN(ランダム・テレグラム・ノイズ)測定システム「Advanced Low-Frequency Noise Analyzer(A-LFNA)」を発表した。

 A-LFNAは、新しい1/fノイズ・RTN測定システムと、半導体デバイスの自動ウエハーレベル測定に対応する同社の「WaferPro Express」ソフトウェアを統合。ウエハープローバー制御を自動化しながら、DC特性、キャパシタンス、RF Sパラメータの測定を実行できる。テスト項目に、ノイズの測定、解析機能を追加することも可能だ。

1/fノイズ・RTN測定システム「Advanced Low-Frequency Noise Analyzer」

 また、測定ルーティンを内蔵し、ターンキー操作でDC測定とノイズ測定ができる。例えば、N型のMOSFETのノイズを測定する場合、システムが自動的に最適なソースインピーダンスと負荷インピーダンスを選択し、デバイスノイズを適切に測定するという。

 ノイズ感度は−183dBV2/Hzで、±200Vまでの高電圧や0.03Hzまでの超低周波数までのノイズ測定に対応。同社のMBPやIC-CAPなどのデバイスモデリングツールを使用すれば、デバイスモデル内でノイズデータを解析、表示できるとしている。

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